黄光工艺的基本知识

五、黄光工艺的基本知识
1.黄光的工艺：涂胶 Coater →曝光 Exposure →显影 Development
（1） 涂胶 Coater ： 将光刻胶通过涂胶这个步骤，均匀的涂在玻璃基板上。
图3 涂胶示意图

（2) 曝光Exposure：通过Mask的遮光作用，正性的光刻胶感光膜层见光产生裂变。负性的光刻胶感光膜层见光产生聚合。

（3)显影 Development：正性裂变的光刻胶遇到显影液以后会融解，留下与Ｍask相同的图案；
负性光刻胶没有聚合的胶遇到显影液以后会融解，留下与Ｍask相反的图案。